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抗EUV辐射润滑脂——极紫外光刻机中的“隐形守护者”
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2026-07-06
塞维欧 Braolub A391 涂装线高温轴承润滑脂
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2026-03-13
迈向半导体制造的“极端耐受”：抗等离子清洗润滑脂的关键技术与应用
在现代半导体制造、平板显示（FPD）及精密光电仪器的生产过程中，等离子清洗（Plasma Cleaning）与等离子体刻蚀（Plasma Etching）是不可或缺的核心工艺。它们利用高能等离子体轰击工件表面，以达到原子级的清洁与表面改性。然而，这种极端的物理与化学环境，却成了真空腔体内部机械传动部件（如真空机械手、线性导轨、滚珠丝杠等）的“噩梦”。普通润滑脂在强等离子体轰击下会迅速分解、挥发，导致润滑失效，甚至产生严重的微粒污染（Particle）。...
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2026-07-06
塞维欧 Chilub V300 喷涂线悬挂链高温润滑脂
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2026-03-13
守护精密制造的“极境之盾”：抗刻蚀气体润滑脂的技术解析与应用
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