晶圆分练机润滑脂

塞维欧  Lovolub B149 晶圆分练机润滑脂 是摩擦系数极低的直链全氟聚醚油，超精细纳米级PTFE稠化，并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。专用在晶圆分选设备（挑片、检测、分类、搬运晶圆的半导体后道设备）的精密运动部件上。

• ASTM E595 测试，TML、CVCM 极低，高温下不会挥发油雾冷凝在硅片‌；
• 精密低扭矩，摩擦稳定，定位机构重复定位精度，动作顺滑无卡顿；
• 洁净无杂质：无固体大颗粒，避免划伤精密螺纹或污染光路；
• 在200℃以上高温环境下不会发生裂解，无积碳、无有害微粒生成‌。